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核心特性与关键指标
B1500A 的强大之处在于其模块化的设计和高性能的测量能力。其主机拥有 10个模块插槽,用户可以根据不同的测试需求,灵活配置多种测量模块。
以下是其核心指标和能力的汇总:
特性维度 详细指标与能力
电流测量 *小分辨率可达 0.1 fA(飞安级),适合测量极低的漏电流。*大输出电流可达 1 A 直流电或 3 A 脉冲电流。
电压测量 *大输出电压为 ±200 V,可用于击穿电压等测试。电压测量分辨率*小为 0.5 μV。
电容测量 内置多频率电容测量单元(MFCMU),支持 1 kHz 至 5 MHz 的频率范围,可执行C-V(电容-电压)和C-f(电容-频率)测量。
超快测量 支持脉冲I-V和超快I-V测量,*小采样间隔可达 5 ns,脉冲宽度可低至 10 ns 或 100 ns,能捕获传统仪器无法测量的瞬态现象。
软件与操作 配备直观的 15英寸触摸屏,内置 EasyEXPERT 软件,该软件提供超过 300种 预置的测试应用程序库,用户无需复杂编程即可完成如Id-Vg、Vth、Gummel曲线等标准测试,并支持数据自动分析。

主要应用领域
得益于其**的测量能力和模块化灵活性,B1500A 被广泛应用于多个领域:
半导体器件研发:对 MOSFET、IGBT、二极管 等分立器件和功率器件进行直流及超快特性表征。
工艺监控与可靠性测试:在晶圆级测试中监控工艺参数,并进行 NBTI/PBTI(负/正偏压温度不稳定性)、TDDB(经时介电层击穿)、电迁移 等可靠性评估。
先进材料与器件研究:用于 存储器、纳米器件、太阳能电池 以及新型材料(如GaN、SiC)的电学特性研究。

