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4200-SCS型半导体特性分析系统
用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析的系统
4200-SCS型半导体特性分析系统是美国吉时利(KEITHLEY)公司生产的,主要用于实验室级的半导体器件直流参数测试、实时绘图与分析 [15]。该系统支持二端、三端、四端电子器件测试,适配Wafer测试需求。
系统内置嵌入式PC机,采用Windows操作环境,配备自动记录系统和点击式交互界面以加速并简化数据获取过程 ,配置>120GB硬盘、USB接口及以太网接口 。
其独特的远端前置放大器(如4200-PA)可将SMU的电流测量分辨率扩展至0.1fA,当配置该选件时,分辨率可达10aA(1E–16A)。
系统集成脉冲式I-V功能、Stress/Measure可靠性测试模块 [1-2],内置的交互式测试环境(KITE)软件提供了超过450项应用测试 [7]。
系统可连接Keithley KITE环境控制外围设备,并兼容Cascade Microtech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200/PA-300以及Micromanipulator 8860等多种探针台。通过配套三同轴线缆工具箱与测试夹具,满足半导体器件、OLED、光电子器件及纳米材料等多元化测试需求
